根據(jù)工藝需求，選用耐腐蝕NPP或者PTFE材料。
適用于4英寸方片和最大到160毫米圓片。
本機(jī)臺具有噴淋、清洗、甩干、手動涂膠功能
使用數(shù)控伺服電機(jī)，可以設(shè)定正傳/反轉(zhuǎn)，滿足工藝功能。
客戶可以自由設(shè)定工藝時間、轉(zhuǎn)速和加速度。
標(biāo)配轉(zhuǎn)速為：1—10000RPM。
可存儲99個客戶自定程序。
每個程序可以自編99步。
轉(zhuǎn)速精確度為：+/- 0.1RPM。
旋轉(zhuǎn)加速度為： 7500RPM/SEC。
提供與客戶晶片尺寸相適應(yīng)的機(jī)械或真空夾具
有機(jī)臺蓋子自動互鎖保護(hù)。
提供PVD透明內(nèi)腔保護(hù)襯，在涂膠工藝時保持機(jī)臺內(nèi)壁潔凈
